PRODUKTE


Wafer Transfer System 4"

Typ: Eureka III SR, Modell UKA-450

Gebraucht

Hersteller: Mactronix  

 

Hersteller
Typ
Model
Baujahr
Ausstattung
 
Abmessungen  B x T x H
Gewicht
Medien
Mactronix
Eureka II JR
UKA-450
1989
für 4" Wafer, Wafertransfer (Storage-/ Prozess-Carrier)
Halterung durch Greifer
210 x 310 x 670 mm
ca. 16 kg
Druckluft : 3,5 - 4,5 bar

Rev. Februar 2005