PRODUKTE


Wafer-Chuck-Heizer

Typ: Wafertherm SP73A

gebraucht

Hersteller: ers Elektronik GmbH 

 

Baujahr:
 
Chuck-Typ:
Regler-Typ:
Verbindungskabel:
Kühlungsart:
Regeltemperatur:
Temperaturstabilität:
Aufheizzeit:
 
Abkühlzeit:
Interfaces:
 
Abmessungen: (B x T x H)
 
Leistungsaufnahme:
Dokumentation:
ca. 2000
incl.  6" Chuck, für Prober Elektroglas 1034X
TA2C6 (für Wafer bis 6", Durchmesser: 160 mm)
 SP73A (Serien-Nr.: 39506757)
 250 cm
Flüssigkühlung
-10 °C bis +125 °C
0,08 °C
25°C bis 50 °C ca. 1min.
50 °C bis 100 °C ca. 2 min.
100 °C bis 50 °C ca. 2 min.
IEEE-488 oder RS232C
 
19" x 500 mm x 130 mm
 
600 W, 230 V, 50 Hz
Manual

Rev. September 2018